測(cè)量高Q貼片陶瓷電容器的ESR，需要一個(gè)測(cè)試系統(tǒng)，它的固有Q值要比受測(cè)器件（DUT）還要高。做這種測(cè)量時(shí)，通常會(huì)用到高Q同軸線諧振器。這種諧振器里面，中心導(dǎo)體是由銅管和實(shí)心銅棒組成的。受測(cè)器件（DUT）要串聯(lián)在這根中心導(dǎo)體和接地線之間。但在測(cè)量ESR之前，得先建立諧振線的空載特性。

這個(gè)特性是通過(guò)給短路的同軸線施加射頻激勵(lì)，然后確定1/4和3/4的帶寬來(lái)實(shí)現(xiàn)的。建立了1/2和1的帶寬測(cè)量后，線路得被開(kāi)路。這樣得到的數(shù)據(jù)可以用來(lái)描述這個(gè)諧振線的空載Q值、固定電阻以及諧振頻率。通常這個(gè)線路的空載值在1300~5000之間（頻率范圍是130MHz~3GHz），固定電阻Rfo大約在5~7mΩ。

電容器樣品要跟固定在低阻抗線路末端的短路棒串聯(lián)放置。調(diào)整發(fā)生器使它達(dá)到一個(gè)峰值諧振電壓，然后再?gòu)闹C振兩側(cè)峰值電壓向下重新調(diào)整6dB。在靠近高阻抗線路末端（大約在短路端的1/4波長(zhǎng)處）的地方，要固定一個(gè)松散耦合的射頻毫伏表探頭。這個(gè)探頭用來(lái)測(cè)量6dB點(diǎn)的射頻電壓。

受測(cè)器件（DUT）與空載線路相比，會(huì)影響線路的Q值，從而改變共振頻率和帶寬。相應(yīng)的6dB下降頻率稱為fa和fb，這些數(shù)據(jù)可以用來(lái)計(jì)算電容器的ESR。這種方法就叫做Q微擾法。